Материалы сайта
Это интересно
Магнетронные распылительные системы
Министерство образования Российской Федерации Томский Политехнический Университет кафедра английского языка и технического перевода Магнетронные распылительные системы выполнил: В.В. Жуков, аспирант, НИИ ЯФ, Лаб. 23. Научный руководитель: В.П. Кривобоков, профессор, заведующий Лаб. 23, НИИ ЯФ. Томск 2001 год. 1 Введение Целью настоящей работы является обзор конструктивных элементов магнетронных распылительных систем (МРС), а также рассмотрение принципа их действия и физических параметров. Дело в том, что еще сравнительно недавно основным методом нанесения тонкопленочных покрытий были испарение и конденсация вещества в высоком вакууме. Методы ионного распыления материалов в следствие низких скоростей осаждения и высоких радиационных воздействий на обрабатываемые структуры использовались ограниченно. Появившиеся сравнительно недавно магнетронные распылительные системы, позволяющие наносить как тонкопленочные, так и пленочные покрытия в сотни микрон, позволили существенно расширить область применения ионного распыления материалов. В последние годы в нашей стране и за рубежом проведены научные исследования и конструкторско-технологические разработки по созданию широкого класса МРС, а также установок и линий (в том числе непрерывного действия). Подобного рода установки нашли применение во многих областях науки и техники. А целесообразность и эффективность их использования доказана значительно возросшим интересом к разработке и внедрению все новых более совершенных систем. В настоящей работе на основе литературных источников сделан обзор конструкций магнетронных распылительных систем, их составных частей, кратко рассмотрены основные параметры и физические принципы работы. Содержание 1 Введение 2 Принцип действия и рабочие параметры МРС 3 Конструкции магнетронных распылительных систем 4 Заключение 5 Conclusion Список использованных источников Приложение А - Рабочие и энергетические характеристики распылительных систем