Материалы сайта
Это интересно
Магнетронные распылительные системы
Приложение А (справочное) Рабочие и энергетические характеристики распылительных систем |Вид |Рабочее |Рабочее |Энергия |Ионный ток |Мощность, |Коэф. |Энергетическая | |распылительной |давление, |напряжение,|ионов, |Ii, А |подводимая |преобразовани|эффективность (по | |системы |Па |кВ |Wi(1,6(10-1| |к системе |я мощности |меди) | | | | |6 Дж | |(c, |(=IiUi/(c | | | | | | | |кВт | | | | | | | | | | |распыления|системы, | | | | | | | | |, |(10-9 | | | | | | | | |(10-9 |кг/Дж | | | | | | | | |кг/Дж | | |Диодная на |1,3 - 13 |3,0 – 5,0 |2,0 – 3,5 |0,5 – 0,8 |2,0 – 5,0 |0,5 – 0,6 |0,9 – 1,4 |0,5 – 0,7 | |постоянном токе | | | | | | | | | |ВЧ диодная |0,6 – 6,6 |1,0 – 2,0 |0,7 – 1,5 |1,0 – 2,0 |3,5 – 5,0 |0,3 – 0,6 |1,6 – 2,5 |0,5 –1,0 | |Триодная |0,06 – 0,66|1,0 – 2,0 |1,0 – 2,0 |3,0 – 5,0 |10 –15 |0,3 – 0,7 |1,4 – 2,1 |0,6 – 1,0 | |Триодная с |0,013 – |1,0 – 2,0 |1,0 – 2,0 |10 – 15 |35 – 40 |0,3 – 0,7 |1,4 – 2,1 |0,6 – 1,0 | |локализацией плазмы |– 0,13 | | | | | | | | |магнитным полем | | | | | | | | | |С автономным ионным |0,0013 – |1,0 – 3,0 |1,0 – 3,0 |0,2 – 0,5 |8,0 – 10 |0,03 – 0,15 |1,0 – 2,1 |0,06 – | |источником |– 0,013 | | | | | | |0,15 | |Магнетронная на |0,13 – 0,66|0,4 – 0,8 |0,3 – 0,5 |15 – 20 |8 –15 |0,6 – 0,7 |3,0 – 3,8 |2,1 – 2,3 | |постоянном токе | | | | | | | | | |ВЧ магнетронная |0,13 – 0,66|0,7 – 1,0 |0,5 – 0,7 |2,0 – 4,0 |3,0 – 5,0 |0,3 – 0,6 |2,5 – 3,0 |0,9 – 1,5 |