Материалы сайта
Это интересно
Проектирование логического ключа в n-МОП базисе с квазилинейной нагрузкой. (МСХТ)
Технологический маршрут изготовления простейшего МДПвентиля с самосовмещенным затвором. |1. Выращивание тонкого подзатворного|[pic] | |диэлектрика. | | |2. Создание p+-охраны. |[pic] | |3. Локальное окисление. |[pic] | |4. Формирование поликремниевого |[pic] | |затвора. | | |5. Ионное n+-легирование через |[pic] | |тонкий диэлектрик. | | |6. Нанесение ФСС и вскрытие |[pic] | |контактных окон. | | |7. Металлизация алюминием. |[pic] | |8. Пассивация. | |
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15